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J-GLOBAL ID：200903032648403431

重ね合わせマーク、重ね合わせマークの設計方法および重ね合わせ測定の方法

Inventor： アデル・マイケル ,  ギノブカー・マーク ,  ミーハー・ウォルター・ディーン
Applicant, Patent owner： ケーエルエー-テンカー・コーポレーション
Agent (1)： 特許業務法人明成国際特許事務所
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2002524212
Publication number (International publication number)：2004508711
Application date： Aug. 28, 2001
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】基板の2つ以上の連続するレイヤ間の相対的ズレを決定するための重ね合わせマークを提供する。【解決手段】重ね合わせマークは第1方向における基板の第1および第2レイヤ間の相対的ズレを決定する少なくとも一つのテストパターンを含む。テストパターンはワーキング・ゾーンの第1セットと、ワーキング・ゾーンの第2セットとを有する。第1セットは基板の第1レイヤ上に配置され、対角線上に対向し互いに空間的にオフセットされた少なくとも2つのワーキング・ゾーンを有する。第2セットは基板の第2レイヤ上に配置され、対角線上に対向し互いに空間的にオフセットされた少なくとも2つのワーキング・ゾーンを有する。ワーキング・ゾーンの第1セットは、ワーキング・ゾーンの第2セットに対して一般に角度をつけられ、よって「X字」形状のテストパターンを形成する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

基板の2つ以上の連続するレイヤ間の相対的ズレを決定する重ね合わせマークであって、前記重ね合わせマークは、 第1方向における前記基板の第1および第2レイヤ間の相対的ズレを決定する少なくとも一つのテストパターンであって、前記テストパターンはワーキング・ゾーンの第1セットと、ワーキング・ゾーンの第2セットとを有し、 前記第1セットは前記基板の第1レイヤ上に配置され、対角線上に対向し互いに空間的にオフセットされた少なくとも2つのワーキング・ゾーンを有し、 前記第2セットは前記基板の第2レイヤ上に配置され、対角線上に対向し互いに空間的にオフセットされた少なくとも2つのワーキング・ゾーンを有する 重ね合わせマーク。

IPC (2)：

H01L21/027 ,  G03F9/00

FI (2)：

H01L21/30 523 ,  G03F9/00 H

F-Term (3)：

5F046EA07 ,  5F046EB01 ,  5F046EB05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 位置ずれ計測マーク及び位置ずれ計測方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-306777   Applicant：日本電気株式会社
• 特開平3-003224
  
• 重ね合わせ精度測定用パターン
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-239969   Applicant：沖電気工業株式会社
• 重ね合わせ測定マーク及びその測定方法と重ね合わせ測定マークを有する半導体装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-071587   Applicant：松下電器産業株式会社