Pat

J-GLOBAL ID：200903032652759640

感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの形成方法

Inventor： 谷津 克也 ,  駒野 博司
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001271801
Publication number (International publication number)：2003076012
Application date： Sep. 07, 2001
Publication date： Mar. 14, 2003
Summary：

【要約】【課題】透明性、耐熱性、現像性、平坦性に優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】(a)ラジカル重合性化合物と脂環式エポキシ基含有重合性不飽和化合物の構造単位を必須成分として含む共重合体及び(b)キノンジアジド基含有化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターンの形成方法。

Claim (excerpt)：

(a)ラジカル重合性化合物と脂環式エポキシ基含有重合性不飽和化合物の構造単位を必須成分として含む共重合体及び(b)キノンジアジド基含有化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 501

FI (3)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 501

F-Term (19)：

2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB41 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 樹脂組成物、レジストインキ組成物及びその硬化物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-134707   Applicant：日本化薬株式会社
• マイクロレンズ用感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-135895   Applicant：東ソー株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-055879   Applicant：ジェイエスアール株式会社