コンベヤと半導体処理ツール搭載ポートとの間のインタフェース装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：熊倉禎男 , 大塚文昭 , 宍戸嘉一 , 弟子丸健 , 井野砂里
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2008512464
Publication number (International publication number)：2008546180
Application date： May. 16, 2006
Publication date： Dec. 18, 2008
Summary：

本発明は、容器輸送システム(160)と処理ツール(10)の間で容器を移送するためのツール搭載装置に関する。ツール搭載装置は、単一又は複数の搭載ポート(12)を使用する。ツール搭載装置は、処理ツール(10)の搭載ポート(12)と処理ツールを通る容器輸送システム(160)の部分との間に配置される。ツール搭載装置は、従来の搭載ポート(12)と、例えばコンベヤ(160)との間で容器を移動させる改良方法を提供する。別の実施形態では、ツール搭載装置は、搭載ポート(12)の前を通る容器輸送システム(160)に実質的に平行である経路に沿ってツール搭載装置を移動させるx方向駆動アセンブリに連結され、ツール搭載装置が複数の搭載ポート(12)を使用することを可能にする。

Claim (excerpt)：

容器を容器移送システムと処理ツールの間で移送するための装置であって、第1の端部及び第2の端部を有し、前記第1の端部と前記第2の端部の間を実質的に垂直方向に移動するように構成された駆動機構を実質的に包囲するハウジングと、第1の幅を有する基部と、前記基部の第2の幅よりも小さい第2の幅を有する遠位端部とを有し、前記駆動機構に連結されたアーム支持体と、前記アーム支持体の遠位端部に回転可能に連結された近位端部と、遠位端部とを有するアームと、前記アームの遠位端部と回転可能に連結された把持器と、を有する装置。

IPC (1)：

H01L 21/677

FI (1)：

H01L21/68 A

F-Term (8)：

5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA08 , 5F031FA03 , 5F031GA41 , 5F031GA58 , 5F031MA07 , 5F031MA15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

半導体製造装置におけるポッド供給装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-023748 Applicant：株式会社石川製作所

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