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J-GLOBAL ID:200903032698138470

単色像観察光学系および単色フィルター光学系

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 金井 英幸
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997361493
Publication number (International publication number):1999194264
Application date: Dec. 26, 1997
Publication date: Jul. 21, 1999
Summary:
【要約】【課題】 単色フィルターに付着したゴミや汚れが像面上で目立たず、対物レンズと単色フィルターとから成る一般の単色像観察光学系と比較して全体のサイズ、像のサイズを大きくすることのない単色像観察光学系を、提供する。【解決手段】 物体側から順に、第1群11と第2群とから構成される対物レンズ10、負レンズ群20、単色フィルター30、正レンズ群40が配列して構成されている。単色フィルター30は、狭帯域干渉フィルターである。また、負レンズ群20、正レンズ群40は共に単レンズにより構成されている。負レンズ群20は、対物レンズ10を透過した収束光を発散させてほぼアフォーカルな光束とするパワーを有し、正レンズ群40は、負レンズ群20の負のパワーを打ち消す正のパワーを有する。
Claim (excerpt):
対物レンズと、該対物レンズにより形成される像の観察に供される観察手段と、前記対物レンズと前記観察手段との間に配置された単色フィルターとを備え、特定の狭い波長域の光束で形成される単色像を観察可能とする単色像観察光学系において、前記単色フィルターと前記対物レンズとの間の光路中に負レンズ群を配置し、前記単色フィルターと前記観察手段との間の光路中に正レンズ群を配置したことを特徴とする単色像観察光学系。
IPC (2):
G02B 13/02 ,  G02B 23/00
FI (2):
G02B 13/02 ,  G02B 23/00
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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