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J-GLOBAL ID：200903032824127187

X線発生用ターゲット

Inventor： 西川 正 ,  中野 秀俊 ,  上杉 直 ,  中尾 正史
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999084301
Publication number (International publication number)：2000277292
Application date： Mar. 26, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】 レーザ光からX線への変換効率を向上させる。【解決手段】 レーザ光を照射するとプラズマおよびプラズマからのX線を発生するターゲットの少なくともレーザ光を照射する表面に、ナノメータサイズの径を有する、表面に垂直な細孔22を多数設ける。

Claim (excerpt)：

レーザ光を照射するとプラズマおよび前記プラズマからのX線を発生するターゲットにおいて、このターゲットは、少なくともレーザ光を照射する表面に、ナノメータサイズの径を有する前記表面に垂直な細孔が多数設けられた固体であることを特徴とするX線発生用ターゲット。

IPC (2)：

H05G 1/52 ,  H05G 2/00

FI (2)：

H05G 1/52 A ,  H05G 1/00 K

F-Term (4)：

4C092AA06 ,  4C092AA17 ,  4C092AB21 ,  4C092BD19

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• X線源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-007864   Applicant：日本電信電話株式会社
• X線変調装置およびその変調方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-015748   Applicant：日本電信電話株式会社
• 平行X線源
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-005309   Applicant：日本電信電話株式会社
• X線発生用ターゲット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-153660   Applicant：株式会社ニコン