静電チヤツク

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991190023
Publication number (International publication number)：1993036819
Application date： Jul. 30, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】【構成】窒化珪素、窒化アルミニウムなどの窒化物を主成分とするセラミック板状体1に内部電極2を備え、該セラミック板状体1の表面に物体を吸着するための吸着面1aを形成して静電チャックを構成した。【効果】漏れ電流が極めて小さく、機械的強度に優れ、還元雰囲気における吸着力が安定しており、シリコンウェハなどの被吸着物6を汚染しにくい。

Claim (excerpt)：

窒化珪素、窒化アルミニウムなどの窒化物を主成分とするセラミック板状体に内部電極を備えるとともに、該セラミック板状体の表面に物体を吸着するための吸着面を形成してなる静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B25J 15/06 , B65H 5/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開昭63-095644
特開昭62-286247
ウエハー加熱装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-303289 Applicant：日本碍子株式会社

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Cited by examiner (9)

ウエハー加熱装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-303289 Applicant：日本碍子株式会社
静電チヤツク及び静電チヤツクに対する電圧印加方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-186854 Applicant：東陶機器株式会社
特開平4-304941

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