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J-GLOBAL ID：200903033038162250

光リソグラフィー用光学部材及び光学部材の評価方法

Inventor： 平岩 弘之 ,  田中 一政 ,  三好 勝也
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994134723
Publication number (International publication number)：1996005505
Application date： Jun. 16, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】 光リソグラフィー技術に使用される光学部材の屈折率の均質性の評価において、既存の技術とは異なる概念を導入し、詳細な評価を行うことにより、微細で鮮明な露光・転写パターン(例えば線幅0.3μm 以下)実現できる光リソグラフィー用光学部材を提供する。【構成】 光学部材の屈折率の均質性を評価する方法において、まず光学部材の屈折率分布を測定し、次に測定された屈折率分布をパワー成分補正前またはパワー成分補正後に光軸方向の回転対称成分と非回転対称成分に分離し、回転対称成分をさらに2次及び4次成分補正する。

Claim (excerpt)：

光学部材の屈折率の均質性を評価する方法において、まず光学部材全体の波面収差を測定し、次に測定された波面収差を光軸方向の回転対称成分と非回転対称成分に分離することを特徴とする光学部材の評価方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 屈折率分布測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-302911   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平3-225259
  
• 特開平2-008727