圧電アクチュエータおよびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：稲垣清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998029997
Publication number (International publication number)：1999227189
Application date： Feb. 12, 1998
Publication date： Aug. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】圧電素子が簡略化された製造工程で高い位置精度及び高集積密度で形成された、コンパクトな圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】圧電材料グリーンシート上に複数の共通電極2を塗布したシートと、圧電材料グリーンシート上に複数の信号印加電極3を塗布したシートと、電極を塗布しないシートとを用いる。共通電極を塗布したシートと信号印加電極を塗布したシートとを交互に複数枚積層した層群と、内部電極を塗布しないシートを複数枚積層した層群とを交互に積層し、焼成後、変位出力面側に格子状の溝12、13を加工して碁盤目状配置の駆動柱8を形成する。これにより、高い位置精度及び高集積密度で形成された、コンパクトな圧電アクチュエータが実現される。また、各駆動柱毎に、出力面の裏面1rで共通電極2と信号印加電極3とをそれぞれ外部電源に電気接続することができる。

Claim (excerpt)：

それぞれ、格子状の溝により区分された各区画に配置され、かつ、圧電式駆動機構として機能する複数個の駆動柱を備え、駆動柱が、圧電材料グリーンシートを介して溝の幅方向に交互に積層された共通電極層及び信号印加電極層の積層電極構造からなり、圧電横効果により駆動柱高さ方向の外部に変位出力する変位出力面を駆動柱上端面に有することを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (6)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/083 , H01L 41/09 , H01L 41/22

FI (5)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 S , H01L 41/08 C , H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平3-243358
オンデマンド型インクジェットヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-302047 Applicant：株式会社リコー
インクジェット記録用ヘッド及びその駆動方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-346510 Applicant：株式会社リコー

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