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J-GLOBAL ID：200903033090870875

光変調装置、該装置による光スイッチ、移動量検出装置及び該装置による距離測定装置、位置合わせ装置及び該装置による半導体露光装置、並びにこれらの方法

Inventor： 黒田 亮 ,  関 淳一 ,  島田 康弘 ,  山口 貴子 ,  稲生 耕久
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000251598
Publication number (International publication number)：2002062489
Application date： Aug. 22, 2000
Publication date： Feb. 28, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】近接場領域に適用可能であって、波長依存のない光変調が実現でき、ノイズ原因の少ない非可干渉光やレーザ光を用いた場合にも波長変動によるノイズ原因のない高精度な光変調が実現可能な光変調装置、該装置による光スイッチ、移動量検出装置及び該装置による距離測定装置、位置合わせ装置及び該装置による半導体露光装置、並びにこれらの方法を提供する。【解決手段】光源から出射される光の波長よりも小さい周期を有する第1および第2の2つの周期構造を、前記波長以下の間隔まで近接させて互いに向かい合わせた状態で配置し、該2つの周期構造を相対的に移動させ、該2つの周期構造の間を透過した前記光源からの透過光の強度を変調するように構成する。

Claim (excerpt)：

光源から出射される光の波長よりも小さい周期を有する第1および第2の2つの周期構造と、該2つの周期構造を相対的に移動させる移動手段を有し、該2つの周期構造を前記波長以下の間隔まで近接させて互いに向かい合わせた状態で配置し、前記移動手段によって該2つの周期構造を相対的に移動させ、該2つの周期構造の間を透過した前記光源からの透過光の強度を変調する構成を備えたことを特徴とする光変調装置。

IPC (4)：

G02B 26/02 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G02B 26/02 B ,  G01B 11/00 A ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 510

F-Term (35)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065AA39 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065DD04 ,  2F065FF00 ,  2F065GG05 ,  2F065GG07 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL28 ,  2F065PP12 ,  2H041AA02 ,  2H041AA05 ,  2H041AA07 ,  2H041AB03 ,  2H041AB04 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ03 ,  2H041AZ05 ,  5F046BA02 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046EB01 ,  5F046EB02 ,  5F046ED01 ,  5F046FA03 ,  5F046FA05 ,  5F046FA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 変位測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-012605   Applicant：株式会社リコー