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J-GLOBAL ID：200903033264681694

化学増幅型ポジ型レジスト組成物

Inventor：
上谷 保則

About 上谷 保則

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金 晟賢

About 金 晟賢

, 
高田 佳幸

About 高田 佳幸


Applicant, Patent owner：
住友化学工業株式会社

About 住友化学工業株式会社


Agent (1)： 久保山 隆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000013848
Publication number (International publication number)：2001209180
Application date： Jan. 24, 2000
Publication date： Aug. 03, 2001
Summary：
【要約】【課題】 基板への接着性や耐ドライエッチング性に優れ、また解像度や感度などの各種レジスト性能が良好な化学増幅型ポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 式(I)及び(II)(式中、R1 は水素又はメチルを表し、R2 及びR3 は炭素数1〜4のアルキルを表し、R4 及びR5 は、水素、水酸基又はアルキルを表し、R6 及びR7 は、水素、炭素数1〜3のアルキル、炭素数1〜3のヒドロキシアルキル、カルボキシル、シアノ若しくは基-COOR8 を表し、ここにR8 はアルコール残基を表すか、又はR6 とR7 が一緒になって -C(=O)OC(=O)-で示されるカルボン酸無水物残基を形成する)で示される各重合単位並びに無水マレイン酸又は無水イタコン酸の重合単位を有し、それ自体はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリ可溶となる樹脂、並びに酸発生剤を含有する化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
Claim (excerpt)：
下式(I)(式中、R1 は水素又はメチルを表し、R2 及びR3 は互いに独立に、炭素数1〜4のアルキルを表し、R4 及びR5 は互いに独立に、水素、水酸基又はアルキルを表す)で示される(メタ)アクリル酸1-(アダマンチル)-1-アルキルアルキルの重合単位、下式(II)(式中、R6 及びR7 は互いに独立に、水素、炭素数1〜3のアルキル、炭素数1〜3のヒドロキシアルキル、カルボキシル、シアノ若しくは基-COOR8 を表し、ここにR8 はアルコール残基を表すか、又はR6 とR7 が一緒になって、-C(=O)OC(=O)- で示されるカルボン酸無水物残基を形成する)で示される脂環式オレフィン系の重合単位、並びに無水マレイン酸及び無水イタコン酸から選ばれる不飽和ジカルボン酸無水物の重合単位を有し、それ自体はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリ可溶となる樹脂、並びに酸発生剤を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
IPC (3)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (15)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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