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J-GLOBAL ID：200903033608529900

ガスセンサおよび金属酸化物薄層表面状態制御方法。

Inventor： 庄山 昌志
Applicant, Patent owner： 三重県
Agent (1)： 和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000281837
Publication number (International publication number)：2002090324
Application date： Sep. 18, 2000
Publication date： Mar. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】 センサ部分の薄膜化とその微細表面状態を制御することにより、成膜性に優れ、希薄ガスでも感度が向上する。【解決手段】 基板と、この基板上に形成された酸化スズを主成分とする酸化スズ膜とを備えてなり、該酸化スズ膜が、スズ化合物と、該スズ化合物に化学修飾できる有機高分子化合物とを少なくとも含む溶液より成膜した後、酸素含有雰囲気中で焼成して得られる。

Claim (excerpt)：

基板と、この基板上に形成された酸化スズを主成分とする酸化スズ膜とを備えてなるガスセンサであって、前記酸化スズ膜は、スズ化合物と、該スズ化合物に化学修飾できる有機高分子化合物とを少なくとも含む溶液より成膜した後、酸素含有雰囲気中で焼成して得られることを特徴とするガスセンサ。

IPC (3)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/333 ,  G01N 23/20

FI (4)：

G01N 27/12 C ,  G01N 27/12 B ,  G01N 23/20 ,  G01N 27/30 331 N

F-Term (22)：

2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001GA14 ,  2G001KA08 ,  2G001LA20 ,  2G001MA05 ,  2G001NA13 ,  2G001NA20 ,  2G046AA11 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BE03 ,  2G046DB05 ,  2G046EA02 ,  2G046EB05 ,  2G046FA01 ,  2G046FB02 ,  2G046FE07 ,  2G046FE31 ,  2G046FE39

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ガス検出素子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-087309   Applicant：能美防災株式会社
• 特開平4-289446
  
• 特開昭63-083650