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J-GLOBAL ID：200903033616926285

感光性組成物およびそれを用いた画像形成方法

Inventor：
市村 國宏

About 市村 國宏

, 
高崎 龍一郎

About 高崎 龍一郎


Applicant, Patent owner：
三菱化学株式会社

About 三菱化学株式会社


Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004075677
Publication number (International publication number)：2005157247
Application date： Mar. 17, 2004
Publication date： Jun. 16, 2005
Summary：
【課題】 波長780〜1200nmの光、特に半導体レーザー光に対し選択的に高い感度を示すラジカル重合とカチオン重合を組み合わせた感光性組成物であって、酸素遮断膜等を付与することなく高感度で尖鋭な画像を得ることができる感光性組成物を提供する。これにより、高い生産性、作業性を維持して高精度なレーザー直接描画を可能とする。電子部品等の微細加工の高精度化、能率向上に貢献するものである。【解決手段】 (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)赤外吸収色素、(C)酸増殖剤、(D)ラジカル重合開始剤、(E)エチレン性不飽和化合物及び(F)酸の作用により架橋する化合物を含有することを特徴とする感光性性組成物。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)赤外吸収色素、(C)酸増殖剤、(D)ラジカル重合開始剤、(E)エチレン性不飽和化合物及び(F)酸の作用により架橋する化合物を含有することを特徴とする感光性性組成物。
IPC (3)：
G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029
FI (5)：
G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/029
F-Term (13)：
2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BE00 ,  2H025CA34 ,  2H025CA50 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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