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J-GLOBAL ID：200903033625186006

薄膜型変位センサーを設けたカンチレバー

Inventor： 藤生 尚光 ,  野村 逹士 ,  藤井 透
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992180786
Publication number (International publication number)：1994026807
Application date： Jul. 08, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【構成】 本発明は、可撓性プレートとその先端付近に固定された針状チップとからなるカンチレバーにおいて、下部電極、チタン酸ジルコニウム酸鉛などの圧電・電歪特性を持つ中間層、および上部電極からなる薄膜型変位センサーを可撓性プレート上に形成し、歪みによる分極電荷を感知するカンチレバーとしたところに特徴がある。【効果】 どのような材料でできたカンチレバーに対しても薄膜型変位センサーを一体化して設けることができるため、カンチレバーの材料が限定されず素子構成が複雑化せず、また、カンチレバーを走査してサンプルを測定することが可能である。

Claim (excerpt)：

可撓性プレートとその先端付近に固定された針状チップとからなるカンチレバーにおいて、前記可撓性プレート上に、下部電極、圧電または電歪特性を持つ中間層、及び上部電極からなる薄膜型変位センサーを取りつけたことを特徴とするカンチレバー。

IPC (3)：

G01B 7/16 ,  H01J 37/28 ,  H04R 17/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-072504
  
• 原子間力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-111776   Applicant：株式会社東芝
• 特開平4-072504
  
• 特開平2-268240