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J-GLOBAL ID：200903033626855394

フッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶

Inventor： 佐藤 浩樹 ,  町田 博 ,  福田 承生 ,  島村 清史
Applicant, Patent owner： エヌイーシートーキン株式会社
Agent (1)： 後藤 洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001367610
Publication number (International publication number)：2003171197
Application date： Nov. 30, 2001
Publication date： Jun. 17, 2003
Summary：

【要約】【課題】 高エネルギー光を照射した場合でも、高い耐久性を有する紫外及び真空紫外領域用光学部材を提供する。【解決手段】 フッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶のドープ元素として、Li<SP>+</SP>のサイトにBe<SP>2+</SP>、Mg<SP>2+</SP>のいずれか一方、あるいは同時に両方を0.05mol%<BeF<SB>2</SB>+MgF<SB>2</SB><2.0mol%だけ導入した式Li<SB>1-x-y</SB>Be<SB>x</SB>Mg<SB>y</SB>CaAlF<SB>6+x+y</SB> (0.0005<x+y<0.020)で表されるフッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶を紫外および真空紫外での光学部材として提供する。

Claim (excerpt)：

フッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶のドープ元素として、Li<SP>+</SP>のサイトにBe<SP>2+</SP>、Mg<SP>2+</SP>のいずれか一方、あるいは同時に両方を0.05mol%<BeF<SB>2</SB>+MgF<SB>2</SB><2.0mol%だけ導入した式Li<SB>1-x-y</SB>Be<SB>x</SB>Mg<SB>y</SB>CaAlF<SB>6+x+y</SB> (0.0005<x+y<0.020)で表されるフッ化リチウムカルシウムアルミニウム単結晶。

IPC (2)：

C30B 29/12 ,  G02B 1/02

FI (2)：

C30B 29/12 ,  G02B 1/02

F-Term (4)：

4G077AA02 ,  4G077BE02 ,  4G077EB01 ,  4G077HA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• コルキライト型フッ化物混晶からなる真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-168153   Applicant：福田承生, 株式会社オプトロン