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J-GLOBAL ID:200903033794216950

画像処理方法および画像処理装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴木 由充
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004292845
Publication number (International publication number):2006102877
Application date: Oct. 05, 2004
Publication date: Apr. 20, 2006
Summary:
【課題】 カメラの撮像対象領域を割り付ける作業や画像の合成処理を容易に行えるようにして、計測対象の画像を生成する処理の効率化をはかる。【解決手段】 アーム部3の先端に取り付けられたカメラ1を、検査対象の基板Sの上方の複数位置に位置決めして駆動し、各撮像位置で得られた画像を合成して、基板Sの全体像を生成する。各撮像位置を設定する際には、基板Sに対し、カメラ1の視野よりも小さく、それぞれの大きさが等しい矩形状の処理領域を複数つなぎ合わせた計測対象領域を設定する。そして、各処理領域の中心点にカメラ1の視野中心を順に合わせて撮像を行い、得られた画像を撮像時のアーム部3の振れ角度に基づいて回転補正する。さらに、各回転補正画像から処理領域の画像を抽出し、これらを処理領域の配置に基づいてつなぎ合わせることにより、前記基板Sの全体画像を生成する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
回動可能なアーム部にカメラを取り付け、前記アーム部およびカメラの動作を制御して所定位置の対象物を撮像し、得られた画像を用いて前記対象物に所定の計測処理を実行する画像処理方法において、 前記対象物がカメラの視野よりも大きいとき、この対象物に対し、前記カメラの視野よりも小さく、それぞれの大きさが等しい複数の矩形状の処理領域をつなぎ合わせた計測対象領域を設定し、 前記処理領域の1つがカメラの視野に含まれる位置で前記アーム部の回動を停止させてカメラを駆動するステップA;ステップAで得た画像をその画像取得時のアーム部の振れ角度に応じて回転補正するステップB;ステップBで補正された画像から前記処理領域に対応する画像を抽出するステップC;の各ステップを各処理領域に対して順に実行し、各処理領域につき前記ステップCで抽出された画像をこれらの処理領域の配置に基づき合成して、前記計測対象領域の画像を生成することを特徴とする画像処理方法。
IPC (6):
B25J 13/08 ,  B25J 19/04 ,  G06T 1/00 ,  G06T 3/00 ,  G06T 3/60 ,  H04N 5/225
FI (6):
B25J13/08 A ,  B25J19/04 ,  G06T1/00 430H ,  G06T3/00 400J ,  G06T3/60 ,  H04N5/225 C
F-Term (28):
3C007AS14 ,  3C007KS07 ,  3C007KT01 ,  3C007KT05 ,  3C007KT11 ,  3C007KT18 ,  5B047AA12 ,  5B047AA13 ,  5B047AB02 ,  5B047BA02 ,  5B047BB06 ,  5B047BC16 ,  5B047CA12 ,  5B057AA03 ,  5B057AA05 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CD03 ,  5B057CE10 ,  5C122DA12 ,  5C122DA13 ,  5C122EA68 ,  5C122FH04 ,  5C122FH18 ,  5C122FK23 ,  5C122HB05
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)

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