濃度測定装置,酸化力測定装置,及び被処理基板の酸化装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001029783
Publication number (International publication number)：2002236092
Application date： Feb. 06, 2001
Publication date： Aug. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】溶液中のペルオキソ硫酸及びオゾンの濃度を測定する濃度測定装置を提供すること。【解決手段】光源ランプ111,121と、ランプ111,121からの光が透過する溶液が満たされた光学セル106と、光学セル106内の溶液を透過した190nmの波長域の光強度を測定する第1の測定側受光素子113と、測定された光強度に基づいて、190nmの波長域における吸光度を求める第1の吸光度測定部115と、セル106内を透過した254nm近傍の波長の光強度を測定する第2の測定側受光素子123と、測定された光強度に基づいて、254nm近傍の波長における吸光度を求める第2の吸光度測定部125と、二つの吸光度測定部で求められたそれぞれの吸光度から前記被測定溶液中のオゾンとペルオキソ硫酸の濃度を求める変換部131とを具備してなる。

Claim (excerpt)：

光源ランプと、この光源ランプから照射された光の光路上に設置され、内部に充填された被測定溶液を前記光が透過する光学セルと、この光学セル内の被測定溶液を透過した190nm近傍の波長域の光強度を測定する第1の測定側受光素子と、第1の測定側受光素子により測定された光強度に基づいて、190nm近傍の波長域における前記被測定溶液の吸光度を求める第1の吸光度測定部と、第1の吸光度測定部で求められた吸光度から前記被測定溶液中のペルオキソ硫酸の濃度を求める第1の濃度演算部と、前記光学セル内を透過した254nm近傍の波長の光強度を測定する第2の測定側受光素子と、第2の測定側受光素子により測定された光強度に基づいて、254nm近傍の波長における前記被測定溶液の吸光度を求める第2の吸光度測定部と、この第2の吸光度測定部で求められた吸光度から前記被測定溶液中のオゾンの濃度を求める第2の濃度演算部とを具備してなることを特徴とする濃度測定装置。

IPC (6)：

G01N 21/33 , C01B 13/11 , G01N 21/05 , G01N 21/11 , G01N 21/27 , G01N 31/00

FI (7)：

G01N 21/33 , C01B 13/11 K , G01N 21/05 , G01N 21/11 , G01N 21/27 F , G01N 31/00 L , G01N 31/00 M

F-Term (36)：

2G042AA01 , 2G042BB10 , 2G042BB20 , 2G042BE03 , 2G042CA10 , 2G042CB03 , 2G042EA01 , 2G042FA01 , 2G042FB02 , 2G057AA01 , 2G057AB03 , 2G057AB06 , 2G057AC01 , 2G057BA05 , 2G057GA02 , 2G059AA01 , 2G059BB04 , 2G059BB16 , 2G059CC08 , 2G059DD01 , 2G059EE01 , 2G059EE12 , 2G059GG03 , 2G059GG05 , 2G059GG10 , 2G059HH03 , 2G059HH06 , 2G059JJ22 , 2G059KK02 , 2G059KK03 , 2G059MM01 , 2G059MM12 , 4G042AA07 , 4G042CA01 , 4G042CB24 , 4G042CE04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開平1-244341
有機物含有水の処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-113185 Applicant：オルガノ株式会社
ペルオキシ硫酸イオン濃度の分析方法並びにそれを用いた有機物分解装置の制御方法及び有機物分解装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-272411 Applicant：オルガノ株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Analytical Chemistry, 197005, Vol.42, No.6, pp.680-682

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