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J-GLOBAL ID：200903033981631600

チャックテーブル

Inventor： 波岡 伸一 ,  井上 高明
Applicant, Patent owner： 株式会社ディスコ
Agent (1)： 秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999128491
Publication number (International publication number)：2000323440
Application date： May. 10, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】 基台の凹部に吸着板を接着して成るチャックテーブルにおいて、基台から吸着板を突出させないようにする。【解決手段】 ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、細孔が複数形成された吸着板と、この吸着板をボンド剤を介して収容し固定する凹部が形成された基台とから構成される。基台の凹部は、底部と側壁部とから構成されていてその側壁部外周には余剰ボンドが溜まるボンド溜部が形成される。このチャックテーブルは、ワークを切削するダイシング装置等に配設される。

Claim (excerpt)：

ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、このチャックテーブルは、細孔が複数形成された吸着板とこの吸着板をボンド剤を介して収容し固定する凹部が形成された基台とから構成され、前記凹部は底部と側壁部とから構成されていてその側壁部外周には余剰ボンドが溜まるボンド溜部が形成されているチャックテーブル。

IPC (3)：

H01L 21/301 ,  B23Q 3/08 ,  H01L 21/68

FI (3)：

H01L 21/78 F ,  B23Q 3/08 A ,  H01L 21/68 P

F-Term (11)：

3C016AA01 ,  3C016BA03 ,  3C016CE05 ,  3C016DA05 ,  5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031FA01 ,  5F031FA12 ,  5F031GA24 ,  5F031HA13 ,  5F031MA34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ウエーハ研削用吸着盤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-167997   Applicant：信越半導体株式会社
• 特開平1-241828