クリーンルーム計測装置状態モニターリングシステム及びそれを利用したモニターリング方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀富士弥 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998020539
Publication number (International publication number)：1998318905
Application date： Feb. 02, 1998
Publication date： Dec. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】半導体装置の製造工程が行われるクリーンルーム内部のパーティクルカウンター16,18等の計測装置から、計測状態に対する信号が近距離通信網(LAN)を経てホストコンピュータに転送されることで、計測装置の作動状態がオンラインで実時間で監視することができるクリーンルーム計測装置状態モニターリングシステム及び、それを利用したモニターリング方法を提供する。【解決手段】パーティクルカウンターのようなクリーンルームに設置された計測機器の計測結果と計測機器の正確な計測遂行のためのポンピング状態又は光の強さのような状態に関する情報をオンラインで遠距離に位置するホストコンピュータ20に転送して、ホストコンピュータ20にインストールされた自己診断機能を行うためのソフトウェアを用いて、計測機器の状態を正確にチェックするように構成されている。

Claim (excerpt)：

クリーンルームに設置され内部環境を計測するように構成される計測装置の状態をチェックするためのクリーンルーム計測装置状態モニターリングシステムにおいて、パーティクルカウントのための流体のポンピングが行われ、ポンピングされる流体に含まれたパーティクルをカウントする結果を出力するパーティクルカウンターと、前記流体のポンピング状態を電気的信号に変換して、前記ポンピング状態に対する信号と前記カウントした結果に対する信号を通信可能条件に変換させる信号変換手段と、前記信号変換手段から出力される信号を転送する転送手段と、前記転送手段を経て転送されるパーティクルカウンターに対する信号を利用してパーティクルカウンターのポンピング状態及びカウント結果をモニターリングするようにディスプレーするホストコンピュータとを備えたことを特徴とするクリーンルーム計測装置状態モニターリングシステム。

IPC (2)：

G01N 15/10 , H04Q 9/00 311

FI (2)：

G01N 15/10 B , H04Q 9/00 311 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

V24/V28、V35共有インタフェース・システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-086134 Applicant：日本電気株式会社
特開平2-162238
デジタルデータ受信装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-296078 Applicant：川崎製鉄株式会社

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