Pat
J-GLOBAL ID:200903034078357786
放射線イメージングデバイス
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
最上 健治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002196637
Publication number (International publication number):2004037334
Application date: Jul. 05, 2002
Publication date: Feb. 05, 2004
Summary:
【課題】高感度且つ高解像度であると共に、長期間にわたって安定した信頼性のある放射線イメージングデバイスを提供する。【解決手段】X線/γ線などの放射線を可視光に変換する放射線シンチレータ1と可視光を可視画像に変換する固体撮像素子2とを重ね合わせてなる放射線イメージングデバイスにおいて、放射線シンチレータを、固体撮像素子の画素に対応させて複数の貫通穴6を形成した基板5を用い、貫通穴の側壁には金属膜8を形成すると共に、該貫通穴にシンチレータ材料7を充填し、更に表面側に保護層9を介して金属膜を形成し、裏面側には下部保護層10を形成して構成する。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
少なくともX線/γ線などの放射線を可視光に変換するシンチレータ部と可視光イメージセンサ部とを有する放射線イメージングデバイスにおいて、前記シンチレータ部は、基板に多数の貫通穴を設け、該貫通穴にシンチレータ材料を埋め込むことにより構成されていることを特徴とする放射線イメージングデバイス。
IPC (2):
FI (3):
G01T1/20 B
, G01T1/20 D
, H01L31/00 A
F-Term (24):
2G088FF02
, 2G088FF04
, 2G088GG16
, 2G088GG19
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 5F088AB01
, 5F088BA01
, 5F088BA13
, 5F088BA20
, 5F088CB05
, 5F088CB14
, 5F088CB20
, 5F088DA17
, 5F088EA03
, 5F088EA04
, 5F088EA11
, 5F088EA13
, 5F088GA04
, 5F088HA09
, 5F088HA11
, 5F088JA17
, 5F088LA07
, 5F088LA08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
-
放射線検出素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-224307
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
-
波長変換型光検出素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-382282
Applicant:キヤノン株式会社
-
2検出器型シンチレーションカメラ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-179693
Applicant:株式会社日立メディコ
Return to Previous Page