多結晶膜作成方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993311821
Publication number (International publication number)：1995161646
Application date： Dec. 13, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】反応ガスを気相反応させて多結晶膜を作成する場合の多結晶膜の粒子均一性を向上させて、多結晶膜そのものの均一性を向上させる。【構成】反応ガス及びキャリアガスをガス反応室内でプラズマ反応させて微粒子を得る。この微粒子をキャリアガスにより基板上に吹きつける。微粒子はその表面性と質量のバランスにより5〜50nmと一定したもののみが基板上に付着する。よって基板上には粒子均一性の良い膜のみが堆積するため、得られた多結晶膜は均一性の高いものとなる。

Claim (excerpt)：

マイクロ波共振、または高周波誘導法によるプラズマによって反応ガスを分解し多結晶膜の材料となる微粒子を作成し、この微粒子をキャリアガス流にのせて基板に吹き付けることを特徴とする多結晶膜作成方法。

IPC (3)：

H01L 21/205 , C23C 16/50 , H01L 21/31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開昭60-055615
特開昭62-167885
特開平1-100920

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