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J-GLOBAL ID：200903034207899779

表面発光レーザ・ダイオード・アレイ

Inventor： シー-ユアン・ウォン ,  マイケル・アール・ティー・タン
Applicant, Patent owner： ヒューレット・パッカード・カンパニー
Agent (1)： 上野 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995195845
Publication number (International publication number)：1996032178
Application date： Jul. 07, 1995
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】アレイにおける個別の表面発光レーザ・ダイオードを光学的および熱的に容易に分離するための方法を提供する。【構成】本発明の一実施例によれば、表面発光レーザ(SEL)アレイは、発光層と、発光層を挟む第1、第2のミラー層とを備えている。第1、第2のミラー層は、発光層で発生された光を発光層に向けて反射する。第1のミラー層は、該第1のミラー層を通って延びる複数の光分離領域を備えている。光分離領域は、発光層をそれぞれがSELに対応する複数の光発光領域に分割する。各光分離領域は、光発生領域の1つで発生された光が付近の光発生領域に伝播するのを防止する。光分離領域はトレンチ(溝)で構成される。トレンチは吸光材で充填することができ、また、熱伝導材を充填して熱放散経路を提供することもできる。光分離領域は、領域をイオン注入によって、または、不規則化することによって作製することもできる。

Claim (excerpt)：

光の通過に応答して、光を発生する発光層と、前記発光層の一方の側に配置され、前記発光層において発生された光を前記発光層に向けて反射する第1のミラー手段と、前記発光層の他の側に配置され、前記発光層において発生された光を前記発光層に向けて反射する第2のミラー手段と、前記第1のミラー手段を通って延び、前記発光層を複数の発光領域に分割する複数の光分離領域と、を備えて成る表面発光レーザ・ダイオード・アレイ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 光電子集積回路
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-044409   Applicant：松下電器産業株式会社
• 特開平3-011325
  
• 特開平2-056986