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J-GLOBAL ID：200903034272761229

非点・入射軸補正装置を備えた電子顕微鏡

Inventor： 近藤行人 ,  細川史生
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994010085
Publication number (International publication number)：1995220669
Application date： Jan. 31, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】 非点補正、適正な軸合わせを正確かつ容易に行えるようにする。【構成】 電子顕微鏡の像を撮影するカメラと、撮影した像を取り込んでデータ処理するコンピュータと、データを格納するメモリと、表示装置とを備え、電子線を少なくとも3方向に傾斜させたときの電子顕微鏡像を前記カメラで撮影してコンピュータに取り込み、コンピュータで計算した複数のフーリエ変換パターンから軸合わせ量を検出して補正することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

電子顕微鏡の像を撮影するカメラと、撮影した像を取り込んでデータ処理するコンピュータと、データを格納するメモリと、表示装置とを備え、前記カメラからコンピュータに取り込んだ像をフーリエスペクトルパターンに変換し、電子顕微鏡の非点補正コイル電流を変化させたときのフーリエ変換パターンの変化から非点補正データを作成して前記メモリに格納しておき、格納した非点補正データに基づき非点補正を行うようにしたことを特徴とする非点・入射軸補正装置を備えた電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/22 501 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/153

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-237354
  
• 特開昭63-043251
  
• 電子ビーム装置における非点補正方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-031979   Applicant：日本電子株式会社