微細な表面形状を持つ構造物およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：樺山亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995232558
Publication number (International publication number)：1997077532
Application date： Sep. 11, 1995
Publication date： Mar. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】微細な表面形状を持つ構造物において、微細な表面形状として、錐体形状や屋根型形状の簡易な実現を可能にする。【解決手段】構造物材料10の平滑な面上に、1以上の微細な錐体もしくは屋根型形状に対応する1以上の出発形状を有する形状形成層20を形成し、1以上の出発形状を形成された形状形成層20と構造物材料10とに対して、異方性のドライエッチングを行ない、出発形状に対応させて、1以上の微細な錐体もしくは屋根型形状を構造物材料に形成する。エッチングの際、選択比を連続的および/または段階的に変化させることにより、1以上の出発形状を1以上の所望の錐体もしくは屋根型形状に変形させつつ構造物材料に彫り写す。

Claim (excerpt)：

1以上の微細な錐体形状を表面形状とする構造物を製造する方法であって、構造物材料の平滑な面上に、上記1以上の微細な錐体形状に対応する1以上の出発形状を有する形状形成層を形成する出発形状形成工程と、上記1以上の出発形状を形成された形状形成層と上記構造物材料とに対して、異方性のドライエッチングを行なって、上記出発形状に対応させて、上記1以上の微細な錐体形状を構造物材料に形成するエッチング工程とを有し、上記エッチング工程において、選択比を連続的および/または段階的に変化させることにより、上記1以上の出発形状を、1以上の所望の錐体形状に変形させつつ上記構造物材料に彫り写すことを特徴とする、微細な表面形状を持つ構造物の製造方法。

IPC (3)：

C03C 15/00 , C23F 4/00 , G03F 7/40 521

FI (3)：

C03C 15/00 Z , C23F 4/00 A , G03F 7/40 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

薄型液晶ディスプレイ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-122254 Applicant：ソニー株式会社
液晶表示パネル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-230147 Applicant：スタンレー電気株式会社
基板上へのマイクロレンズアレイの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-054408 Applicant：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー

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