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J-GLOBAL ID：200903034284327559

層間絶縁膜用感放射線性樹脂組成物

Inventor：
小笠原 昭二

About 小笠原 昭二

, 
中野 孝徳

About 中野 孝徳

, 
遠藤 昌之

About 遠藤 昌之


Applicant, Patent owner：
ジェイエスアール株式会社

About ジェイエスアール株式会社


Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998341267
Publication number (International publication number)：2000162769
Application date： Dec. 01, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：
【要約】【課題】 電子部品に用いられる保護膜などを形成するための材料、または層間絶縁膜、特に、液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像素子などの層間絶縁膜を形成するための材料として好適な感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A](a1)重合性不飽和カルボン酸および/または重合性不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有重合性不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および(a2)以外の重合性不飽和化合物、の共重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有する層間絶縁膜用感放射線性樹脂組成物。
Claim (excerpt)：
[A](a1)重合性不飽和カルボン酸および/または重合性不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有重合性不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および(a2)以外の重合性不飽和化合物、の共重合体、[B]エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、並びに[C]感放射線重合開始剤を含有することを特徴とする層間絶縁膜用感放射線性樹脂組成物。
IPC (3)：
G03F 7/033 ,  G02F 1/1333 505 ,  G03F 7/027 515
FI (3)：
G03F 7/033 ,  G02F 1/1333 505 ,  G03F 7/027 515
F-Term (30)：
2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA18 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC12 ,  2H025BC14 ,  2H025BC31 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025CA00 ,  2H025CB06 ,  2H025CB10 ,  2H025CB11 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H090HB13X ,  2H090HB17X ,  2H090HC05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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