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J-GLOBAL ID：200903034298862651

有機共蒸着膜の製造方法

Inventor： 平本 昌宏 ,  横山 正明
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 野口 繁雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000265225
Publication number (International publication number)：2002076027
Application date： Sep. 01, 2000
Publication date： Mar. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】 共蒸着薄膜の微細構造を制御する。【解決手段】 基板7の温度を基板冷却・加熱装置8で制御して冷却または加熱しながら、蒸着源2,3から同時に有機材料(A)と(B)を蒸発させ、その基板7上に両有機材料を混合しながら堆積させる。分子的混合、結晶微粒子相とアモルファス相との混合、結晶同士の混合、超格子を基板に直立させたのと同等な構造など、任意の微細レベルの混合状態の有機・有機共蒸着薄膜を作製する。

Claim (excerpt)：

複数の有機半導体を同一の基板上に同時に蒸着することによって得られる前記有機半導体の複合膜である有機共蒸着膜を製造する方法において、前記基板の温度を所定の温度に制御することによって、前記有機共蒸着膜の複合構造を制御することを特徴とする有機共蒸着膜の製造方法。

IPC (4)：

H01L 21/363 ,  C23C 14/12 ,  H01L 31/04 ,  H01L 51/00

FI (4)：

H01L 21/363 ,  C23C 14/12 ,  H01L 31/04 D ,  H01L 29/28

F-Term (30)：

4K029BA62 ,  4K029BA64 ,  4K029BB08 ,  4K029BB10 ,  4K029BC00 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029DA08 ,  4K029DB14 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  5F051AA11 ,  5F051AA12 ,  5F051CB29 ,  5F051DA03 ,  5F103AA01 ,  5F103BB15 ,  5F103BB41 ,  5F103BB42 ,  5F103BB53 ,  5F103DD25 ,  5F103GG02 ,  5F103GG03 ,  5F103LL01 ,  5F103LL04 ,  5F103NN01 ,  5F103RR05 ,  5F103RR06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 有機光起電力素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-311986   Applicant：株式会社リコー