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J-GLOBAL ID：200903034339502312
不良解析装置およびその方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997009967
Publication number (International publication number)：1998209230
Application date： Jan. 23, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：
【要約】【課題】 過去事例データベースに蓄えた過去事例情報を各種検査装置の検査結果データから不良原因ならびに不良対策方法を容易に検索し、取得、活用できる不良解析装置を提供する。また、検査結果データからその領域性を判定し、過去事例データベースの検索に活用する方法を提供する。【解決手段】 各種検査装置の検査結果データの特徴抽出12、不良推論13を行い、過去事例データベース21から過去事例情報を検索、取得し、不良解析実験の選択、パラメータ取得、製造工程のプロセス条件パラメータおよび製造装置パラメータ制御を行う。【効果】 本発明により各種検査装置の検査結果データから不良解析実験方法、原因対策方法を特定することができ、不良解析を効率良く行うことができる。また、原因対策を自動で行うことできる。
Claim (excerpt)：
検査装置または検査結果データベースより検査結果データを入力し、または解析結果を出力する入出力部と、検査結果データからその定量的特徴量を算出する特徴抽出部と、前記特徴量からパターン照合手法により不良キーワードを推論する不良推論部と、前記特徴抽出部で算出した特徴量と、前記不良推論部で推定した不良キーワードにより、過去事例データベースを検索し、該当する過去事例情報を取得する過去事例検索部と、前記取得した過去事例情報より製造工程各装置パラメータならびにプロセス条件パラメータを調整する原因対策部とを備えたことを特徴とする不良解析装置。
IPC (3)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, G06F 17/30
H01L 21/66 A
, G01N 21/88 J
, G06F 15/401 310 D
, G06F 15/401 320 Z
