Pat

J-GLOBAL ID：200903034429193050

検査装置

Inventor： 鈴木 保之 ,  宮下 丈人
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999294515
Publication number (International publication number)：2001118896
Application date： Oct. 15, 1999
Publication date： Apr. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】 半導体ウェハ等の検査を行う環境を高いクリーン度に保ち、微細なパターンの検査を適切に行うことを可能にする。【解決手段】 半導体ウェハ等の検査を行う装置本体10をクリーンボックス3の内部に収容し、この装置本体10が収容されたクリーンボックス3の内部に、クリーンエアユニット4から清浄な空気を供給する。クリーンボックス3には、装置本体10の検査用ステージ14の側方に位置する側面部に開口領域80を設け、クリーンエアユニット4からクリーンボックス3内に供給された清浄な空気を、半導体ウェハが設置された検査用ステージ14上を通過させて、開口領域80からクリーンボックス3の外部に排出するようにする。これにより、クリーンボックス3内に発生した塵埃等が検査用ステージ14上に設置された半導体ウェハに付着することを有効に防止することができる。

Claim (excerpt)：

被検査物の検査を行う装置本体部と、上記装置本体部を内部に収容するクリーンボックスと、上記クリーンボックスの内部に清浄な空気を供給する空気供給部とを備え、上記装置本体部には、上記被検査物が設置される検査用ステージが設けられていると共に、上記検査用ステージの側方に位置する上記クリーンボックスの側面部の少なくとも一部に、上記空気供給源から上記クリーンボックスの内部に供給された清浄な空気を、上記検査用ステージ上を通過させて、上記クリーンボックスの外部に排出させるための開口領域が設けられていることを特徴とする検査装置。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956

FI (3)：

H01L 21/66 J ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A

F-Term (55)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD13 ,  2F065DD14 ,  2F065DD15 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT04 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA01 ,  2G051DA08 ,  2G051DA17 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EC01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106BA07 ,  4M106BA20 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB08 ,  4M106DJ01 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ24 ,  4M106DJ40

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• クリーン度の高い検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-338230   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• クリーン度の高い検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-338231   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• ワーク検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-171861   Applicant：株式会社日立製作所, 日立米沢電子株式会社

Cited by examiner (3)

• クリーン度の高い検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-338230   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• クリーン度の高い検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-338231   Applicant：東京エレクトロン株式会社
• ワーク検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-171861   Applicant：株式会社日立製作所, 日立米沢電子株式会社