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J-GLOBAL ID：200903034528563268

電子放出素子およびその製造方法

Inventor： 松舘 政茂
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996161506
Publication number (International publication number)：1998012124
Application date： Jun. 21, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 冷陰極電子源の電流強度の時間的安定性を改良すること。【解決手段】 カーボンナノチューブを電子源とし、該電子源を規則正しく配列した陽極酸化膜の細孔中に設けることにより電子放出素子を構成する。上記の電子放出素子を、?@陽極酸化膜の細孔中に金属触媒を析出させる工程と、?A該金属触媒の触媒作用を利用して陽極酸化膜の細孔中にカーボンナノチューブを形成する工程、を有する方法により製造する。

Claim (excerpt)：

電子源と引き出し電極を備え、引き出し電極によって電子源から電子を引き出し放出させる機能を有する電子放出素子において、カーボンナノチュ-ブを電子源とする電子放出素子。

IPC (2)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02

FI (2)：

H01J 1/30 A ,  H01J 9/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 電子放出素子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-015628   Applicant：株式会社リコー
• 特開平4-036922