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J-GLOBAL ID:200903034625682603
COF用配線板の製造方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鳴井 義夫 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002091605
Publication number (International publication number):2003289177
Application date: Mar. 28, 2002
Publication date: Oct. 10, 2003
Summary:
【要約】【課題】 ラミネート時にフレキシブル基板と感光性樹脂層の間にエアーが混入することを抑制し、パターン異常の発生が少ないCOF用配線板を製造する。【解決手段】 化学研磨又は機械研磨で平均面粗さ(Ra-1)あるいは中心線平均粗さ(Ra-2)が10〜200nmとした銅箔を積層したフレキシブル基板に、感光性樹脂積層体を積層し、所望の配線パターンに対応した露光を行い、硬化レジストを得、現像により、未露光部分の感光性樹脂を除去し、エッチングにより硬化レジストに覆われていない基板の銅箔層を除去するか、又は、めっきにより硬化レジストに覆われていない部分にめっき金属を析出させた後、剥離により、硬化レジストを除去してCOF用配線板の製造する。
Claim (excerpt):
厚みが10〜100μmのフィルムに、化学研磨又は機械研磨で平均面粗さ(Ra-1)あるいは中心線平均粗さ(Ra-2)が10〜200nmとした銅箔を積層したフレキシブル基板に、(a)感光性樹脂積層体をラミネートし、(b)所望の配線パターンに対応した露光を行い、露光された部分の感光性樹脂を光硬化させて硬化レジストを得、(c)現像により、未露光部分の感光性樹脂を除去し、(d)エッチングにより硬化レジストに覆われていない基板の銅箔層を除去するか、または、めっきにより硬化レジストに覆われていない部分にめっき金属を析出させた後、(e)剥離により、硬化レジストを除去することを含むCOF用配線板の製造方法。
IPC (2):
FI (4):
H05K 3/06 E
, H05K 3/06 B
, H05K 3/06 J
, H05K 1/09 A
F-Term (25):
4E351AA16
, 4E351AA17
, 4E351BB01
, 4E351DD04
, 4E351DD54
, 4E351DD55
, 4E351GG11
, 4E351GG20
, 5E339AA02
, 5E339AB02
, 5E339BC02
, 5E339BD11
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CD01
, 5E339CE11
, 5E339CE14
, 5E339CE16
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339CG04
, 5E339DD04
, 5E339GG01
, 5E339GG10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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プリント配線板の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-198348
Applicant:三菱電機株式会社
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フレキシブルプリント配線板の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-325269
Applicant:株式会社フジクラ
-
特開昭57-042157
-
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びめっきレジストの製造法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-016568
Applicant:日立化成工業株式会社
-
特開昭57-042157
-
特開平4-184994
-
感光性ドライフィルムレジストのラミネート方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-285939
Applicant:大日本印刷株式会社
-
特開昭57-042157
-
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フイルム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-347861
Applicant:日本化薬株式会社
-
感光性樹脂積層体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-030460
Applicant:旭化成工業株式会社
-
回路基板の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-060081
Applicant:大日本印刷株式会社
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