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J-GLOBAL ID:200903034748968765

ダイヤモンドライクカーボン薄膜を有する物品およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石井 陽一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994087857
Publication number (International publication number):1995268607
Application date: Mar. 31, 1994
Publication date: Oct. 17, 1995
Summary:
【要約】【目的】 本発明は、WCを含む合金層の表面を持ち、しかもその表面上に、十分な耐久性のダイヤモンドライクカーボン薄膜を備える物品を提供することを目的とするものである。【構成】 本発明の物品は、少なくとも表面の一部に設けられた炭化タングステンを含む合金層、この合金層の上に設けられ、前記合金層の組成に対し炭素含有量のみが多い組成か、実質的に炭素からなる下地層、およびこの下地層上に設けられたダイヤモンドライクカーボン薄膜を備える。
Claim (excerpt):
少なくとも表面の一部に設けられた炭化タングステンを含む合金層、この合金層の上に設けられ、前記合金層の組成に対し炭素含有量のみが多い組成か、実質的に炭素からなる下地層、およびこの下地層上に設けられたダイヤモンドライクカーボン薄膜を備える物品。
IPC (2):
C23C 14/06 ,  C04B 41/89
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (21)
  • 特開平1-259171
  • 特開平3-140459
  • 特開平4-333577
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