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J-GLOBAL ID：200903034874564734

コリメーティングX線分光器およびコリメータ

Inventor：
河 辺 一 保

About 河 辺 一 保


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000055230
Publication number (International publication number)：2001242295
Application date： Mar. 01, 2000
Publication date： Sep. 07, 2001
Summary：
【要約】【課題】 コリメータを試料に接近させて配置しても、コリメータの反射面を常に清浄に保つことができるコリメーティングX線分光器およびコリメータを提供すること。【解決手段】 X線を透過させる保護薄膜27が、コリメータのX線入射口21を覆って設けられており、その保護薄膜27とX線入射口周縁部23との間は密閉されている。このため、電子線照射によって試料から汚染物質が発生したとしても、その汚染物質は、保護薄膜27で遮られてコリメータ13の内部には入り込まず、ポリキャピラリ25の反射面とコリメータ本体20の反射面は清浄に保たれる。この結果、それらの反射面でのX線の反射率を高いまま保持でき、X線分光器の検出感度を高く保つことができる。
Claim (excerpt)：
X線発生点からの発散X線を平行ビームにするコリメータを備え、そのコリメータで平行ビーム化されたX線を平板分光結晶で分光するコリメーティングX線分光器において、前記コリメータのX線入射口に、X線を透過させる保護薄膜を設けたことを特徴とするコリメーティングX線分光器。
IPC (5)：
G21K 1/02 ,  G01J 3/02 ,  G01N 23/225 ,  G21K 1/06 ,  H01J 37/252
FI (5)：
G21K 1/02 C ,  G01J 3/02 Z ,  G01N 23/225 ,  G21K 1/06 T ,  H01J 37/252 A
F-Term (34)：
2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001EA01 ,  2G001FA12 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA04 ,  2G001JA05 ,  2G001JA14 ,  2G001KA01 ,  2G001PA11 ,  2G001SA01 ,  2G001SA02 ,  2G001SA04 ,  2G020CB03 ,  2G020CB07 ,  2G020CB36 ,  2G020CB45 ,  2G020CC01 ,  2G020CC07 ,  2G020CC56 ,  2G020CD12 ,  2G020CD25 ,  2G020CD51 ,  2G020CD56 ,  5C033PP02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特開昭63-053846
  • 特開平4-262300
Cited by examiner (5)
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Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

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