マイクロレンズの製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994240835
Publication number (International publication number)：1996072064
Application date： Sep. 09, 1994
Publication date： Mar. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】マイクロレンズおよびマイクロレンズアレイを少ない工程で高精度、高密度で大量に製造できることを目的とする。【構成】紫外光を吸収する基板表面に紫外線波長帯域のレーザ光を照射して、基板表面に半球状の突出部を形成し、これを母型としてスタンパーを作成し透明材料を成型してマイクロレンズおよびマイクロレンズアレイを作成する。半球状の突出部を形成する光学系はビームポットを走査する方法、あるいはマイクロレンズと略等しい径の孔を配置した紫外光反射マスクあるいは集光用のマイクロレンズアレイを基板表面に配置して、その上からレーザ光を照射する方法がある。

Claim (excerpt)：

マイクロレンズをスタンパー方式により作成する製造方法において、紫外光を吸収する材料からなる基板の表面に、紫外線波長帯域のレーザ光を選択的に照射して前記基板を発泡させて半球状の突出部を形成し、該突出部を有する基板を母型としてスタンパーを作成し、更に該スタンパーにより透明材料を成型してマイクロレンズを作成することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。

IPC (2)：

B29C 33/38 , G02B 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

光学部品、光学部品マザー、それらの製造方法、及び関連製品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-205652 Applicant：株式会社日立製作所
特公昭61-046408
特開昭62-083336

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