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J-GLOBAL ID：200903034972039338

静電容量式加速度センサの外観検査方法

Inventor：
武藤 浩司

About 武藤 浩司

, 
深田 毅

About 深田 毅


Applicant, Patent owner：
株式会社デンソー

About 株式会社デンソー


Agent (1)： 矢作 和行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002164357
Publication number (International publication number)：2004012229
Application date： Jun. 05, 2002
Publication date： Jan. 15, 2004
Summary：
【課題】可動電極直下の中空部を外観検査できる静電容量式加速度センサの外観検査方法を提供すること。【解決手段】加速度の印加により変位する可動電極9と、可動電極9の検出面に対向する検出面を有す固定電極14とを備える静電容量式加速度センサにおいて、可動電極9と固定電極14に所定の駆動電圧を印加し、可動電極9を強制的に変位させることにより、可動電極9直下の中空部17を露出させる。これにより、変位する前の可動電極9の直下であった中空部17を外観検査することができ、異物18を発見することが可能となるため、異物18の噛み込み等によるセンサ機能発現の抑制要因を従来よりも低減する事ができる。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
半導体基板に支持され、検出対象となる加速度の印加に応じて変位する可動電極と、前記可動電極と対向しつつ前記半導体基板に支持される固定電極とを備え、 前記加速度の印加に応じて生じる前記可動電極の変位を、前記可動電極と前記固定電極間の静電容量の変化として検出する静電容量式加速度センサの外観検査方法であって、 前記可動電極と前記固定電極との間に所定の駆動電圧を印加し、前記可動電極を変位させることにより、前記可動電極下の中空部を外観検査することを特徴とする静電容量式加速度センサの外観検査方法。
IPC (4)：
G01P21/00 ,  G01N21/84 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84
FI (4)：
G01P21/00 ,  G01N21/84 Z ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
F-Term (17)：
2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AC11 ,  2G051AC12 ,  2G051CA11 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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