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J-GLOBAL ID：200903035014357320

圧電共振子、これを用いた圧電フィルタ、デュプレクサ、通信装置

Inventor： 野村 忠志 ,  山田 一 ,  後藤 義彦 ,  竹内 雅樹 ,  吉野 幸夫 ,  河村 秀樹
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 岡田 和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002270120
Publication number (International publication number)：2003168953
Application date： Sep. 17, 2002
Publication date： Jun. 13, 2003
Summary：

【要約】【課題】圧電共振子において、不要振動を低減でき、かつ、耐電力性を向上させること。【解決手段】開口部2若しくは凹部を有する基板3と、前記開口部2若しくは凹部を覆い、ダイヤフラム4を形成する絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されている、少なくとも1層以上の圧電膜を有する薄膜部6の上下面を少なくとも一対の上部電極7および下部電極5を対向させて挟む構造の振動部9とを有する圧電共振子において、前記振動部9の周囲の上部電極7を拡大して形成される放熱器10を有する

Claim (excerpt)：

開口部若しくは凹部を有する基板と、前記開口部若しくは凹部を覆い、ダイヤフラムを形成する絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されている、少なくとも1層以上の圧電膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極及び下部電極を対向させて挟む構造の振動部とを有する圧電共振子において、前記振動部の周囲の上部電極を拡大して形成される放熱器を有することを特徴とする、圧電共振子。

IPC (4)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/58 ,  H03H 9/70 ,  H04B 1/50

FI (4)：

H03H 9/17 F ,  H03H 9/58 A ,  H03H 9/70 ,  H04B 1/50

F-Term (16)：

5J108AA01 ,  5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108DD06 ,  5J108DD07 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108FF01 ,  5J108KK02 ,  5K011DA21 ,  5K011DA27 ,  5K011EA01 ,  5K011JA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 基板実装型バルク波音響共鳴器の空洞全体にまたがる下部電極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-137000   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク
• 特開昭60-142607号(全文、第1図、第2図)