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J-GLOBAL ID：200903035017113015

表面欠陥検査方法および表面欠陥検査装置

Inventor： 大山 洋一郎 ,  加倉井 明宏
Applicant, Patent owner： 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005115078
Publication number (International publication number)：2006258778
Application date： Mar. 15, 2005
Publication date： Sep. 28, 2006
Summary：

【課題】致命的な欠陥を確実に検出できるように構成するとともに、検査対象物に応じて欠陥として検知する凹凸の程度を任意に選択することができる表面検査方法および装置を提供する。【解決手段】 検査対象物の表面を拡散光照明手段により照明し、検査対象物近傍に設けた再帰反射部材により対象物表面で反射した拡散光照明手段による照明光を略同じ光路で再帰させて、対象物表面から直接反射する直接光と再帰反射部材を経由して対象物表面で反射する再帰光とを共に前記撮像手段で撮像するように構成している。 これにより、様々な方向から照明されることで、浅い傷については影とはならず、欠陥と認識されない。一方傷が深い場合には、明瞭な影ができるので欠陥と判定することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

検査対象物の表面を拡散光照明手段により照明し、検査対象物の表面の画像を撮像することにより微小欠陥を検出する表面検査方法であって、検査対象物近傍に設けた再帰ミラーにより対象物表面で反射した光を略同じ光路で再帰させて、対象物表面から直接反射する直接光と再帰ミラーを経由して対象物表面で反射する再帰光とを共に前記撮像手段で撮像することを特徴とする表面検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  H01L21/66 J

F-Term (32)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD09 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL00 ,  2F065LL16 ,  2F065LL18 ,  2F065LL59 ,  2F065UU07 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BB03 ,  2G051BC10 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CC11 ,  2G051DA06 ,  2G051DA08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106CA47 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DB11 ,  4M106DB13 ,  4M106DB19

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 凹凸欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-105702   Applicant：凸版印刷株式会社