Pat

J-GLOBAL ID：200903035099478997

スピンバルブ磁気抵抗ヘッドを具備する磁気ヘッド装置の製造方法

Inventor： 宇野 泰史 ,  宮内 大助 ,  松崎 幹男
Applicant, Patent owner： ティーディーケイ株式会社
Agent (1)： 山本 恵一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996276908
Publication number (International publication number)：1997167318
Application date： Sep. 30, 1996
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：

【要約】【課題】 磁性体薄膜層に付与される異方性を正しくかつ確実に制御可能なスピンバルブMRヘッドを具備する磁気ヘッド装置の製造方法を提供する。【解決手段】 非磁性薄膜層によって分離される第1及び第2の軟磁性体薄膜層を少なくとも含み、これら第1及び第2の軟磁性体薄膜層のうちの一方が反強磁性体薄膜層によってピン止めされるスピンバルブ積層体を基板上に形成するステップと、スピンバルブ積層体を用いてスピンバルブ磁気抵抗ヘッドを形成するステップと、スピンバルブ磁気抵抗ヘッドを用いて磁気ヘッド装置を組み立てるステップとを備えており、上述した各ステップの少なくとも1つのステップが、ピン止めされる軟磁性体薄膜層の一軸異方性に変化を与える温度による熱処理工程を含んでおり、この熱処理工程を含む全てのステップが終了した後に、スピンバルブ磁気抵抗ヘッドのトラック幅方向と直交する方向に磁場を印加しつつ熱処理を行いピン止めされる軟磁性体薄膜層に一軸異方性を与えるための最終熱処理ステップをさらに備えている。

Claim (excerpt)：

非磁性薄膜層によって分離される第1及び第2の軟磁性体薄膜層を少なくとも含み、該第1及び第2の軟磁性体薄膜層のうちの一方が反強磁性体薄膜層によってピン止めされるスピンバルブ積層体を基板上に形成するステップと、該スピンバルブ積層体を用いてスピンバルブ磁気抵抗ヘッドを形成するステップと、該スピンバルブ磁気抵抗ヘッドを用いて磁気ヘッド装置を組み立てるステップとを備えており、前記各ステップの少なくとも1つのステップが、前記ピン止めされる軟磁性体薄膜層の一軸異方性に変化を与える温度による熱処理工程を含んでおり、該熱処理工程を含む全てのステップが終了した後に、前記スピンバルブ磁気抵抗ヘッドのトラック幅方向と直交する方向に磁場を印加しつつ熱処理を行い前記ピン止めされる軟磁性体薄膜層に一軸異方性を与えるための最終熱処理ステップをさらに備えたことを特徴とするスピンバルブ磁気抵抗ヘッドを具備する磁気ヘッド装置の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 磁気記録再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-018430   Applicant：株式会社日立製作所
• 磁気抵抗効果型ヘツドの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-227818   Applicant：株式会社日立製作所
• 磁気ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-296776   Applicant：株式会社日立製作所