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J-GLOBAL ID：200903035180870818
プロセス異常検出装置および方法並びにプログラム
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松井 伸一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007221036
Publication number (International publication number)：2009054843
Application date： Aug. 28, 2007
Publication date： Mar. 12, 2009
Summary：
【課題】 多岐にわたるプロセスに関する状態に対して、適切に異常の有無等の判定を行うことができるプロセス異常検出装置を提供すること【解決手段】 プロセスデータ記憶部21に格納されたプロセスデータからプロセス特徴量を抽出するプロセスデータ編集部22と、プロセス特徴量から製造システムにおける異常検出を行なうための異常検出要因分析ルールを記憶する異常検出要因分析ルールデータ記憶部26と、目的変数を必要とする異常検出要因分析ルール(PLS)により、プロセス特徴量から製品の異常の有無を判定するプロセス結果異常判定部24′と、目的変数を必要としない異常検出要因分析ルール(PCA)により、装置の状態の異常の有無を判定する装置異常判定部24′′と、を備え、両異常判定部24′,24′′は同時に実行されるようにした。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
1または複数の製造装置からなる製造システムにおいて、プロセス実行時に得られるプロセスデータに基づいてプロセスの異常を検出する異常検出装置であって、
前記時系列のプロセスデータを記憶するプロセスデータ記憶手段と、
そのプロセスデータ記憶手段に格納されたプロセスデータからプロセス特徴量を抽出するプロセスデータ編集手段と、
プロセス特徴量から前記製造システムにおける異常検出を行なうための異常検出ルールを記憶する異常検出ルールデータ記憶手段と、
前記異常検出ルールにより、前記プロセス特徴量から前記プロセスに関する異常の有無を判定する複数の異常判定手段と、
を備え、
前記複数の異常判定手段は、同時に実行可能に構成され、
前記複数の異常判定手段のうちの少なくとも一つは、目的変数を必要とする異常検出ルールにより異常の有無を判定するものとし、
前記複数の異常判定手段のうちの別の一つは、目的変数を必要としない異常検出ルールにより異常の有無を判定するものとした
ことを特徴とするプロセス異常検出装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L21/02 Z
, G05B23/02 302Y
5H223AA05
, 5H223BB01
, 5H223CC03
, 5H223DD07
, 5H223DD09
, 5H223EE08
, 5H223EE11
, 5H223FF06
Cited by applicant (1)
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処理結果の予測方法及び予測装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2003-067116
Applicant：東京エレクトロン株式会社
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