基板露光装置の露光ステージ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高橋清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992115474
Publication number (International publication number)：1993289350
Application date： Apr. 07, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】正確な位置決めを行える基板露光装置の露光ステージを提供する。【構成】露光ステージSは複数のブロック台1に分割され、剛性を高められており、その上面の平坦度が向上している。各ブロック台1の間の隙間には搬送用ベルト3とX方向位置決め片4が設けられ、露光ステージS上で基板Wの位置決めが行える。

Claim (excerpt)：

少なくともその一部が所定の隙間を開けて設置された被露光基板を載置するための複数のブロック台と、該隙間に設けられた基板を移動させるための移動手段と、を備えたことを特徴とする基板露光装置の露光ステージ。

IPC (4)：

G03F 7/20 , G03B 27/32 , G03F 9/00 , H05K 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭62-212659
特開昭60-250689
特開昭58-007638

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