リニア電磁型マイクロアクチュエータ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：篠部正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997224136
Publication number (International publication number)：1999069760
Application date： Aug. 21, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】少ない配線本数,スイッチング素子で多数の平面コイルを選択的に通電制御できるようにマイクロアクチュエータのドライブ回路を改良する。【解決手段】多数の平面コイル2を碁盤目状に配列した固定子テーブルに磁性体の可動子を搭載し、選択した平面コイルの励磁を順次切換えることにより、可動子を固定子テーブル上で二次元方向に移動させるようにしたリニア電磁型マイクロアクチュエータにおいて、網目状に配線して電源に接続した給電フィーダの「行」,「列」の各配線9,8の相互間に平面コイルを接続してコイル・マトリクス7を組むとともに、コイル・マトリクスの「行」,「列」の各配線ごとにスイッチング素子5,6を接続してドライブ回路を構成し、可動子の移動向に合わせて前記スイッチング素子を選択的にON/OFFし、励磁する平面コイルを順次切り換えるようにする。

Claim (excerpt)：

同一面上に並べて多数の平面コイルを碁盤目状に配列した固定子テーブルと、該固定子テーブルの上面に搭載した磁性体の可動子とからなり、可動子の移動方向に合わせて選択した平面コイルの励磁を順次切換えることにより、可動子を固定子テーブル上で二次元方向に移動させるようにしたリニア電磁型マイクロアクチュエータにおいて、網目状に配線した給電フィーダの各「行」,各「列」の配線相互間に平面コイルを介装接続してコイル・マトリクスを組むとともに、該コイル・マトリクスの「行」,「列」の各配線ごとにスイッチング素子を接続してドライブ回路を構成し、可動子の移動に合わせて前記スイッチング素子を選択的にON/OFFし、励磁する平面コイルを順次切り換えるようにしたことを特徴とするリニア電磁型マイクロアクチュエータ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

マイクロマニピュレータ駆動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-121257 Applicant：日本電装株式会社
特開昭52-005416

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