透明導電膜のパターニング方法と透明電極付き基体

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：泉名謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996034025
Publication number (International publication number)：1997232278
Application date： Feb. 21, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】低比抵抗が得られる透明導電膜を、微細電極加工性よくパターニングできる方法と該方法にて形成された透明電極付き基体の提供。【解決手段】酸に可溶な透明酸化物層2、4と金属層3とが積層されてなる透明電導膜のパターニング方法において、金属層3の主成分とする金属に対して酸化性を有する酸性水溶液からなるエッチング液を用いてパターニングする透明導電膜のパターニング方法と透明電極付き基体。

Claim (excerpt)：

酸に可溶な透明酸化物層と金属層とが積層されてなる透明電導膜のパターニング方法において、金属層の主成分とする金属に対して酸化作用を有する酸性水溶液からなるエッチング液を用いてパターニングすることを特徴とする透明導電膜のパターニング方法。

IPC (2)：

H01L 21/306 , H01L 21/3213

FI (2)：

H01L 21/306 F , H01L 21/88 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

多層導電膜のエッチング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-236167 Applicant：凸版印刷株式会社

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