波長可変フィルタ制御装置及び波長可変フィルタ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：竹内進 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001077498
Publication number (International publication number)：2002277758
Application date： Mar. 19, 2001
Publication date： Sep. 25, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】光学基板の高い平行度を保ちながら、高速で基板間隔を変化できるようにする。【解決手段】波長可変フィルタ4は、複数のアクチュエータ9に対応して2枚の光学基板5a,5bの相対する面に一対の容量電極8a,8bを形成する。制御回路10は、一対の容量電極8a,8bの検出容量に基づいて光学基板5a,5bの間隔を所定の目標間隔となるようにアクチュエータ9を制御し、これにより光学基板間を微小間隔変位させて透過スペクトル特性を変化させる。

Claim (excerpt)：

相対する片面に反射層を形成した2枚の光学基板間を微小間隔変位させる複数のアクチュエータを備えた波長可変フィルタを有し、前記アクチュエータの駆動により前記光学基板間を微小間隔変位させることにより透過スペクトル特性を変化させる波長可変フィルタ制御装置において、前記アクチュエータに対応して前記2枚の光学基板の相対する面に形成された少なくとも一対の容量電極と、前記一対の容量電極の検出容量に基づいて前記光学基板の間隔を所定の目標間隔となるように前記アクチュエータを制御する制御回路と、を備えたことを特徴とする波長可変フィルタ制御装置。

IPC (4)：

G02B 26/00 , G01J 3/26 , G02B 5/28 , G03B 15/00

FI (4)：

G02B 26/00 , G01J 3/26 , G02B 5/28 , G03B 15/00 S

F-Term (20)：

2G020BA20 , 2G020CA12 , 2G020CB06 , 2G020CC23 , 2G020CC55 , 2G020CC63 , 2G020CD06 , 2G020CD24 , 2H041AA21 , 2H041AB14 , 2H041AB15 , 2H041AC08 , 2H041AZ02 , 2H041AZ05 , 2H048GA04 , 2H048GA07 , 2H048GA15 , 2H048GA25 , 2H048GA52 , 2H048GA61

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平1-094312
波長可変レーザー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-123933 Applicant：日本電気株式会社
特開平1-105753

Show all

Return to Previous Page