電気泳動法を利用したカーボンナノチューブフィールドエミッタの製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：磯野道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000239544
Publication number (International publication number)：2001110303
Application date： Aug. 08, 2000
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：

【要約】【課題】仕事関数及び動作電圧が低く、耐久性の向上によって動作寿命が延びるようなフィールドエミッタの製造方法を提供する。【解決手段】基板11の表面にストライプ状の陰極12が形成され、陰極12上にホール13aを有する絶縁体層13が形成され、絶縁体層13上にホール13aに対応する開口部14aを有するようにゲート14が形成され、陰極12の表面にカーボンナノチューブ粉末25を付着して形成されたチップを備えるフィールドエミッタの製造方法として、(a)カーボンナノチューブ粉末を含む溶液が入った容器内に、電極板と陰極が形成されたフィールドエミッタ基板を配置する段階と、(b)電極板と陰極との間に所定のバイアス電圧を印加して陰極の表面に常温領域でカーボンナノチューブ粉末を付着させる段階と、(c)カーボンナノチューブ粉末が付着された基板を所定の温度で熱処理する段階からなる製造方法を構成した。

Claim (excerpt)：

基板表面にストライプ状の陰極が形成され、前記陰極上にホールを有する絶縁体層が形成され、前記絶縁体層上に前記絶縁体層のホールに対応する開口部を有するように金属ゲートが形成されたフィールドエミッタ基板上に、露出された前記陰極の表面にカーボンナノチューブで形成されたチップを備えるカーボンナノチューブフィールドエミッタを製造する方法において、下記段階(a)から段階(c)を含むことを特徴とする電気泳動法を利用したカーボンナノチューブフィールドエミッタの製造方法。(a)カーボンナノチューブ粉末を含む溶液が入った容器内に電極板と所定間隔を有するように前記陰極が形成された前記フィールドエミッタ基板を配置する段階。(b)前記電極板と前記陰極との間に所定のバイアス電圧を電源から印加して前記絶縁体層のホールを介して露出された前記陰極の表面に常温領域でカーボンナノチューブ粉末を付着させる段階。(c)前記カーボンナノチューブ粉末が付着された前記基板を前記容器から取り出して所定の温度で熱処理する段階。

IPC (5)：

H01J 9/02 , B82B 3/00 , C25D 13/02 , C25D 13/10 , C25D 13/12

FI (5)：

H01J 9/02 B , B82B 3/00 , C25D 13/02 Z , C25D 13/10 B , C25D 13/12 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

電界放出型カソードの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-133957 Applicant：ソニー株式会社
電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-249096 Applicant：株式会社東芝
特開昭60-127209

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

"Electrode Device Using Carbon Nanotubes for Display"

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