微小変位測定装置とその方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐藤隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997216342
Publication number (International publication number)：1999063919
Application date： Aug. 11, 1997
Publication date： Mar. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】これまでの微小変位測定装置は、複数の光学部品や光軸調整を必要とし取り扱いが難しい。また小型化が困難でコストが高い。【解決手段】レーザ発振器40より光ファイバ30に入射された光は、直線光導波路12に伝搬されるが、この時屈折率の差により一部が反射される。直線光導波路12に入射された光は、反射防止膜18が設けられた端部より被測定物80に照射され、その反射光が再び直線光導波路12に入射される。この反射光と、先に光ファイバ30の端面で反射された光との干渉光が光検出器50に入射され、その強度に基づいて変位検出部70で被測定対象80の変位が検出される。被測定対象80が変位していない初期状態で、位相制御部60より電極15を介して直線光導波路12に電界が印加し、干渉光を形成する2つの光の位相差をπ/2にしておけば、変位に対する干渉光強度の感度が最大となる。

Claim (excerpt)：

一方の端部が、光ファイバケ-ブルの一方の端部と、当該光ファイバケ-ブルを伝搬された光の一部が入射され一部が反射されるように接続され、他方の端部より、被測定物からの反射光が再びその端部より入射されるように前記光ファイバケ-ブルより入射された光を出射し被測定物に照射する光導波路と、前記光導波路と接続される前記光ファイバケ-ブルであって、他方の端部より入射された光を前記光導波路に対して伝搬し、前記光導波路と接続されている一方の端部で反射された光と前記光導波路から入射された前記被測定物からの反射光との干渉光を前記他方の端部へ伝搬する光ファイバケ-ブルと、前記光ファイバケ-ブルの前記他方の端部より所定の光を入射する光源と、前記光ファイバケ-ブルの前記他方の端部より出射される前記干渉光を受光し、該干渉光の強度に応じた信号であって、前記被測定物の変位に応じて変化する信号を出力する光検出器と、前記光導波路に対して電界を印加する電極と、前記被測定物の変位に応じて生じる前記干渉光の強度変化の割合が、前記被測定物が変位をしていない基準の位置の近傍で大きくなるように、前記電極に電界を印加し、前記光導波路を伝搬される前記被測定物からの反射光の位相を調整する電界制御手段とを有する微小変位測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/00 , G02B 6/00

FI (3)：

G01B 11/00 F , G01B 11/00 G , G02B 6/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

変位測定方法及びそれを用いた変位測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-024451 Applicant：住友金属鉱山株式会社
特開昭61-288102
特開昭62-027603

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