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J-GLOBAL ID：200903035971334901

圧電素子構造および液体噴射記録ヘッドとその製造方法

Inventor： 和佐 清孝 ,  海野 章 ,  松田 堅義 ,  福井 哲朗
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社 ,  和佐 清孝
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000185795
Publication number (International publication number)：2002009358
Application date： Jun. 21, 2000
Publication date： Jan. 11, 2002
Summary：

【要約】【課題】 圧電素子を構成する圧電膜や振動板等を薄膜化することで半導体プロセスで一般に用いられている微細加工を可能とし、長尺でかつ高密度に形成された液吐出口を有する液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法を実現する。【解決手段】 液吐出口2と圧力室3と、Pb、TiおよびZrを有する圧電膜9とその両側に設けられた電極7、8からなる圧電振動部10とを備え、圧電膜9は、それぞれペロブスカイト構造を有しかつ互いに接するように形成された第1層11と第2層12とを含んでなり、第1層11をZrを含まないPbTiO3 またはPLT、あるいはZrの含有量が第2層12のZrの含有量に比較して少ない層とし、第2層12をPZTとして、成膜時の温度を500°C以上とし、成膜時の温度から少なくとも450°Cまでの間を30°C/min以上の冷却速度で急速冷却して成膜し、単一配向結晶あるいは単結晶PZTを形成する。

Claim (excerpt)：

支持基体と該支持基体上に支持された圧電膜からなり、前記圧電膜が、それぞれペロブスカイト構造を有しかつ互いに接するように形成された第1層とジルコニウムを有する第2層とを含み、さらに、該圧電膜の薄膜形成時の温度を500°C以上とし、しかも薄膜形成時の温度から少なくとも450°Cまでの間を30°C/min以上の冷却速度で急速冷却して形成されていることを特徴とする圧電素子構造。

IPC (10)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  C23C 14/06 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/24 ,  C04B 35/49

FI (10)：

C23C 14/06 N ,  C04B 35/49 A ,  H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/18 101 Z ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/22 A

F-Term (32)：

2C057AF01 ,  2C057AF37 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA32 ,  4G031BA01 ,  4G031BA10 ,  4G031CA02 ,  4G031CA03 ,  4G031CA08 ,  4G031GA13 ,  4K029AA06 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC05 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC35 ,  4K029GA05 ,  4K029HA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• インクジェット記録装置とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-095491   Applicant：松下電器産業株式会社
• 印刷装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-190000   Applicant：ソニー株式会社, ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社