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J-GLOBAL ID：200903036098258434

慣性センサのためのカップリング装置

Inventor：
ジーン, ジョン エー.

About ジーン, ジョン エー.

, 
クラーク, ウィリアム エー.

About クラーク, ウィリアム エー.

, 
クアン, ジンボ

About クアン, ジンボ


Applicant, Patent owner：
アナログ デバイシス, インコーポレイテッド

About アナログ デバイシス, インコーポレイテッド


Agent (3)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007508620
Publication number (International publication number)：2007532924
Application date： Apr. 14, 2005
Publication date： Nov. 15, 2007
Summary：
カップリング装置は、平行な軸に沿った慣性センサエレメントフレームの逆位相の運動を許すが、フレームの同位相の運動を実質的に妨げる。カップリング装置は、第一と第二のセンサエレメントフレームとの間に結合されたバーおよびバーを支持する少なくとも1つの支持構造を含む。少なくとも1つの構造は、フレームの下にある基板に結合される。構造は、フレームが実質的に平行な軸に沿って互いに逆位相で動くときには、バーがピボットポイントで回転することを許すが、フレームの同位相の動きを実質的に妨げる。
Claim (excerpt)：
慣性センサのセンサエレメントを結合するための装置であって、 第一と第二のセンサエレメントフレームとの間に結合されたバーと、 該バーを支持する少なくとも1つの支持構造と、を備え、 該少なくとも1つの構造は、該フレームの下にある基板に結合され、該構造は、該フレームが別々の実質的に並行な軸に沿って互いに逆位相で動くときには該バーがピボットポイントで回転することを許すが、該フレームの同位相の運動を実質的に妨げる、 装置。
IPC (3)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z
F-Term (12)：
2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD01 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112FA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 振動式ジャイロのマイクロマシンの振動子
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願平7-527274   Applicant：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
  • 特許第6230563号
  • 回転角速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-306238   Applicant：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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