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J-GLOBAL ID：200903080801113698

マイクロマシン加工デバイス

Inventor： ジーン,ジョン・エイ ,  クロー,ドナルド・ダブリュー
Applicant, Patent owner： アナログ デバイセス インコーポレーテッド
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000508958
Publication number (International publication number)：2001515201
Application date： Sep. 01, 1998
Publication date： Sep. 18, 2001
Summary：

【要約】基板上に懸垂され、その平面で基板に関して運動可能な第1および第2の同一平面のボディを有するミイクロマシン加工されたジャイロスコープ。該第1のボディが、ディザ軸に沿ってディザされ、ディザ軸上で第2のボディに関して運動可能であるが、該ディザ軸を横切る軸に沿っての運動にたいしては堅固に結合される。該第2のボディが固定され、ディザ軸に沿っての運動から抑制されるが、該横軸に沿っての第1のボディを運動できる。該ジャイロは止め部材と、破損を防止するための否浮揚システムを有する。

Claim (excerpt)：

基板と、 第1のボディがディザ軸に沿ってディザできるように該基板に関連して運動可能である該基板上に懸垂された該第1のボディと、 該基板上に懸垂された第2のボディであって、前記第1および第2のボディが該基板に平行な第1の平面と同一平面上であることと、 該第1のボディが、該第2のボディに関連してディザ軸に沿って該第1のボディにより運動可能に、該第1の軸に直交する軸に沿って該第2のボディに関連して該第1のボディの運動を抑制するように、該第1および第2のボディが該直交軸に沿って一緒に運動可能であるように、該第2のボディに結合されることと、 該第2のボディが、該第2のボディが該ディザ軸に沿って該基板に関しての運動を抑制されるように形成された、 ことを特徴とするマイクロマシン加工デバイス。

IPC (3)：

G01C 19/56 ,  B81B 3/00 ,  G01P 9/04

FI (3)：

G01C 19/56 ,  B81B 3/00 ,  G01P 9/04

F-Term (5)：

2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-054914   Applicant：株式会社村田製作所
• 角速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-143148   Applicant：株式会社村田製作所
• マイクロジャイロスコープ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-348972   Applicant：三星電子株式会社, 韓國科學技術院