厚み測定方法及び装置並びにウエハ

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：四宮通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001036195
Publication number (International publication number)：2002243416
Application date： Feb. 13, 2001
Publication date： Aug. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】非接触で被測定物の厚みを実用的に測定し、被測定物の損傷や汚染等を防止する。【解決手段】テラヘルツ光発生器7から発したテラヘルツパルス光は、被測定物20を照射する。被測定物20を透過したテラヘルツパルス光は、テラヘルツ光検出器11で検出される。可動鏡10をずらしながら検出器11にゲートをかけることで、被測定物20の透過光の電場強度の時系列波形が計測される。計測時系列波形に基づいて、被測定物20の厚みが算出される。

Claim (excerpt)：

被測定物の厚みを測定する厚み測定方法であって、テラヘルツパルス光の発生部と該発生部から発生して所定の光路を経て到達するテラヘルツパルス光を検出する検出部とを用いて、前記光路上に前記被測定物を配置した状態で、前記テラヘルツパルス光を前記被測定物に照射することにより前記被測定物を透過して前記検出部により検出されるパルス光の、電場強度の時系列波形である計測時系列波形を取得する段階と、前記計測時系列波形に基づいて、前記被測定物の厚みを求める段階とを備えたことを特徴とする厚み測定方法。

IPC (2)：

G01B 11/06 , H01L 21/66

FI (2)：

G01B 11/06 Z , H01L 21/66 P

F-Term (21)：

2F065AA30 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065DD13 , 2F065DD16 , 2F065FF32 , 2F065GG04 , 2F065LL13 , 2F065LL19 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065QQ04 , 2F065QQ16 , 2F065QQ33 , 2F065UU01 , 2F065UU05 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA48 , 4M106DH12 , 4M106DJ11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

媒体の解析処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-304910 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
特開昭54-002153
特開昭54-002153

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