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J-GLOBAL ID：200903036195257779

流体の被除去物除去装置

Inventor：
対比地 元幸

About 対比地 元幸

, 
飯沼 宏文

About 飯沼 宏文


Applicant, Patent owner：
三洋電機株式会社

About 三洋電機株式会社


Agent (1)： 須藤 克彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999324366
Publication number (International publication number)：2001038351
Application date： Nov. 15, 1999
Publication date： Feb. 13, 2001
Summary：
【要約】【課題】 従来、ダイシング等の機械的加工により発生する研磨屑、研削屑が混入された排水は、凝集沈殿法またはフィルタ濾過と遠心分離を組み合わせた二通りで処理されていた。しかし前者では、濾過水に薬品が混入し、濾過水の再利用が行えず、また後者は、システムとして大きくなり、イニシャルコスト、ランニングコストが高い問題を有していた。【解決手段】 被除去物を含む原液52が収容された原水タンク50と、原水タンク50内に浸漬された濾過装置53と、前記濾過装置53を吸引するポンプ57と、センサ67により濾過状態を認識し、再利用側のパイプ60または循環させるパイプ59に切り替える切り替えバルブ58とを有する。第1のフィルタ膜10にトラップされた被除去物12を第2のフィルタ13として活用するため、濾過水の被除去物の混入率が高い時と低い時があり、高い時は、濾過水を切替バルブを介して循環させる。
Claim (excerpt)：
被除去物を含む流体が収容されたタンクと、前記タンク内の流体中に浸漬されたフィルタとを循環経路内に有することを特徴とする流体の被除去物除去装置。
IPC (6)：
C02F 1/44 ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 65/02 ,  B24B 55/12 ,  C02F 1/52 ,  H01L 21/304 622
FI (6)：
C02F 1/44 K ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 65/02 ,  B24B 55/12 ,  C02F 1/52 Z ,  H01L 21/304 622 E
F-Term (21)：
3C047GG13 ,  3C047GG17 ,  4D006GA07 ,  4D006HA48 ,  4D006KA01 ,  4D006KB13 ,  4D006KB16 ,  4D006MA03 ,  4D006MC62 ,  4D006PA01 ,  4D006PB08 ,  4D006PC80 ,  4D062BA19 ,  4D062BA23 ,  4D062BB01 ,  4D062BB05 ,  4D062CA20 ,  4D062EA02 ,  4D062EA32 ,  4D062FA02 ,  4D062FA12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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