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J-GLOBAL ID:200903074199603778
流体の被除去物除去方法および流体の被除去物除去装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
須藤 克彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999324367
Publication number (International publication number):2001038352
Application date: Nov. 15, 1999
Publication date: Feb. 13, 2001
Summary:
【要約】【課題】 従来、ダイシング等の機械的加工により発生する研磨屑、研削屑が混入された排水は、凝集沈殿法またはフィルタ濾過と遠心分離を組み合わせた二通りで処理されていた。しかし前者では、濾過水に薬品が混入し、濾過水の再利用が行えず、また後者は、システムとして大きくなり、イニシャルコスト、ランニングコストが高い問題を有していた。【解決手段】 第1のフィルタ膜10にトラップされた被除去物12を第2のフィルタ膜13として活用し、第1のフィルタ膜10への目詰まりを防止すると共に、第2のフィルタ膜13には、気泡等の外力が与えられ、濾過能力を維持している。また濾過水に被除去物が混入されている場合は、濾過水を再度排水が貯められている槽に循環させ、所望の混入率に成るのを確認した後、再度濾過を開始する。
Claim (excerpt):
流体中に含まれる被除去物の少なくとも一部から成るフィルタで前記被除去物を除去することを特徴とする流体の被除去物除去方法。
IPC (6):
C02F 1/44
, B01D 61/14 500
, B01D 65/02
, B01D 71/26
, B24B 55/12
, H01L 21/304 622
FI (6):
C02F 1/44 K
, B01D 61/14 500
, B01D 65/02
, B01D 71/26
, B24B 55/12
, H01L 21/304 622 E
F-Term (27):
3C047GG13
, 3C047GG17
, 3C047GG18
, 4D006GA06
, 4D006HA41
, 4D006JA31A
, 4D006JA35A
, 4D006JA52A
, 4D006JA56A
, 4D006KA12
, 4D006KA43
, 4D006KA63
, 4D006KC13
, 4D006KC14
, 4D006KE01Q
, 4D006KE01R
, 4D006KE02Q
, 4D006KE02R
, 4D006MA03
, 4D006MA06
, 4D006MA31
, 4D006MC03
, 4D006MC22
, 4D006PB08
, 4D006PB15
, 4D006PB20
, 4D006PC80
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
-
活性汚泥濾過装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-177201
Applicant:大同均, 麻生栄治, 栗田工業株式会社, 新日本製鐵株式会社, 日立金属株式会社
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流体の被除去物除去装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-324366
Applicant:三洋電機株式会社
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