Pat
J-GLOBAL ID：200903036455357861

プラズマ密度測定用安定化発振器回路

Inventor：
サーキス、マーレー・ディー

About サーキス、マーレー・ディー

, 
バーディアン、ジョセフ・ティー

About バーディアン、ジョセフ・ティー


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001537762
Publication number (International publication number)：2003514362
Application date： Jul. 20, 2000
Publication date： Apr. 15, 2003
Summary：
【要約】【課題】本発明の課題は、プラズマを含む開放共振器に対して固定化されるマイクロ波発振器を使用して、改良されたプラズマ電子密度測定・制御システムを提供することにある。【解決手段】本発明は、電子(プラズマ)密度を測定するシステムの一部として電圧制御発振器(VCO)の発振周波数を安定化させる回路によって達成されるプラズマ密度測定用安定化発振器回路である。
Claim (excerpt)：
フィードバック信号によって制御される電圧制御発振器を有する、プラズマ室を制御する回路において、その改良構成が、 ディザ電圧を生成するディザ電圧源と、 前記ディザ制御電圧源を前記フィードバック信号に加え、かつその出力を前記電圧制御発振器の電圧制御入力に印加する加算器とを備えている。
IPC (3)：
H05H 1/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46
FI (3)：
H05H 1/00 A ,  H05H 1/46 R ,  H01L 21/302 103
F-Term (2)：
5F004CB05 ,  5F004CB20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • プラズマ処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-190548   Applicant：株式会社ダイヘン
  • プラズマ発生装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-135901   Applicant：三菱電機株式会社
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM